Tlhahisong ea li-wafer tsa semiconductor, ts'ebetso ea lithography ke mohato oa bohlokoa, o tsamaisoang ka nepo o khethollang chai ea chip. Jwalo ka "sehloho sa ho pepesehela le ho nka litšoantšo" ts'ebetsong ea tlhahiso ea li-wafer, lithography e akaretsa mosebetsi oohle - ho kenyeletsoa le ho koahela ka spin, ho pepesehela, nts'etsopele, ho fata le ho hloekisa ka metsi - mme e beha litlhoko tse thata haholo bohloeking ba tikoloho, taolo ea litšila, ts'ireletso ea motlakase le ho hanyetsa lik'hemik'hale. Likaroloana tsa lerōle tsa boemo ba micron, ho falla ha li-ion tse nyane, le ho ntšoa ha motlakase ka nakoana kaofela li ka baka liphoso tsa photoresist ka kotloloho, ho se lumellane hantle ha paterone, oxidation ea wafer le lipotoloho tse nyane tse khutšoane lipotolohong, e leng se lebisang ho ho qhaqhoeng ha li-wafer kaofela le ho fella ka tahlehelo e kholo ea tlhahiso. Li-FAB tse ngata li thatafalloa ke ho ntlafatsa chai ea lits'ebetso tsa tsona tsa photolithography. Esita le ha lisebelisoa, lits'ebetso le liparamente tsa tikoloho li le maemong a loketseng, bothata hangata bo lutse linthong tse bonahalang li sa hlokahale bakeng sa ts'ireletso ea letsoho. Liatlana tse tloaelehileng tsa sehlopha sa 1,000 kapa tsa maemo a indasteri ha lia lokela ka ho feletseng bakeng sa maemo a holimo haholo a ts'ebetso ea photolithography.
Ke Hobane'ng ha Tšebeliso ea Liatlana tse Tloaelehileng tsa Bohloeki e Thibeloa ka Botlalo Tsamaisong ea Lithography?
Masalla a phofo a baka tšilafalo ea photoresist
Li-ion tse ngata tsa sebabole le chloride li senya lipotoloho tse holim'a li-wafer
Motlakase o sa fetoheng o ile oa tsoa taolong, oa baka ho senyeha ha wafer ea photolithography e nepahetseng
Ho petsoha le ho qhalana ha lintho tse tsoang linaheng tse ling, ho lebisang liphosong tsa lintho tse tsoang linaheng tse ling ts'ebetsong ea tlhahiso
LjieClean Class 100 Liatlana tsa Nitrile tse se nang phofo
Suzhou Leader e shebane le lefapha la tlhahiso ea li-wafer tsa semiconductor le ho sebetsana le lintlha tse bohloko ts'ebetsong ea lithography, re ntlafalitse liatlana tsa nitrile tse khethehileng tsa Class 100 tse se nang phofo, tse sa ntšeng khase e ngata tse fihlelang litlhoko tsa tlhahiso ea ts'ebetso eohle ea lithography ea li-wafer, e leng se etsang hore e be lisebelisoa tse sireletsang tse ratoang bakeng sa lik'hamphani tse ngata tsa fabs le liphutheloana le liteko tsa li-wafer.
1.Ts'ebetso e se nang phofo e thehiloeng ho dichloride: ha ho na tšilafalo ea phofo ts'ebetsong ea photolithography
Ka ho sebelisa mokhoa oa ho hloekisa chlorination o ikhethileng oa semiconductor, mokhoa ona ha o hloke ho eketsoa ha lintho tse thusang tse kang talc, cornstarch, kapa oli ea silicone nakong eohle ea ts'ebetso. E netefatsa hore ts'ebeliso e boreleli ts'ebetsong ka boeona, e felisa likaroloana tsa phofo le masala a oli ea silicone a silafatsang photoresist mohloling, ka hona e rarolla ka botlalo liphoso tsa likaroloana tse ling ts'ebetsong ea photolithography.
2 Ho hlatswa metsi ka metsi a hloekileng haholo ka mekhahlelo e mengata ho etsa hore ho be le sebabole se tlase, chlorine e tlase, le ion e tlase
Ka mekhahlelo e mengata ea ho hlatsoa ka botebo ka metsi a hloekileng haholo, lintho tse ling tse tala le masala a holim'a metsi lia tlosoa. Sekhahla sa li-ion tsa tšepe tse qhibilihang se na le sebabole, chlorine le tse qhibilihang se laoloa ka thata, e leng se fellang ka NVR e tlase (masalela a sa fetoheng). Sena se thibela ho qhibiliha ha wafer, ho bola ha ho koahela le liphoso tsa ho fata, e leng se etsang hore liatlana li lumellane ka botlalo le lits'ebetso tse hlokang tlhokomelo ea lithography bakeng sa li-wafer tsa lisenthimithara tse 8 le 12.
Tšireletso ea ESD e Fetotsoeng ka hare ho Mold e 3 ho Sireletsa Li-wafer tse Bontšang Bohloko ba Electrostatic
Ho fapana le liatlana tse thibelang ho sisinyeha tse fumanehang khoebong tse nang le liphahlo tsa nakoana tsa spray, Gonars e sebelisa theknoloji ea phetoho ea anti-static e ka hare ho thepa ea motheo ea nitrile. Sena se netefatsa khanyetso e tsitsitseng le e ts'oanang ea bokaholimo, e qhala motlakase o tsitsitseng ka ho tsoelang pele ts'ebetsong eohle ho thibela ho bokellana ha static ho ka bakang ho senyeha ha photoresist le tšenyo ea lipotoloho tsa wafer tse nepahetseng. E loketse mehato ea lithography ea mantlha joalo ka ho pepesehela le nts'etsopele.
4 E tenyetsehang le e Sebetsang Hantle, e Loketse Mesebetsi ea ho Nepahala ea Maemo a Micron
Thepa ea glove e tenyetseha 'me e lumellana le sebopeho sa letsoho. E na le moralo o sa thelleng oa mongolo menoaneng ea letsoho, e bobebe ebile ha e kholo, e leng se etsang hore e be ntle bakeng sa ts'ebetso e nepahetseng joalo ka ho sebetsana le wafer ea photolithography, ho lokisa liphoso tsa lisebelisoa le tlhahlobo e nepahetseng. E fana ka motsamao o sa thibeloeng 'me e thibela ho thella, e fokotsa tšenyo e bakoang ke ho ruruha ka phoso nakong ea ts'ebetso ea letsoho. Ho feta moo, e hanela li-solvents tsa photolithography le li-acid tse bonolo le li-alkali, 'me e lula e tšoarella ntle le ho tsofala kapa ho taboha esita le nakong ea ts'ebeliso e telele.
5
✅ Sephutheloana se koetsoeng ka vacuum se nang le mekhahlelo e 'meli se felisa tšilafalo ea bobeli
Lihlahisoa tse felileng li phuthetsoe nakong eohle ea ts'ebetso ka phapusing ea ho hloekisa ea Sehlopha sa 100 ho sebelisoa sephutheloana se koetsoeng ka vacuum se nang le mekhahlelo e 'meli, se li arolang ka ho feletseng lerōleng le mongobo nakong ea polokelo le lipalangoang. Ha ho na tšilafalo ea bobeli ha ho buloa sephutheloana, e leng se lumellang hore li sebelisoe hang-hang ka phapusing ea ho hloekisa ea Sehlopha sa 100.
Nako ea poso: Phupu-23-2026