Liatlana tsa Lijiejing tse 9-inch Low Chloroprene: Tekanyetso e Ncha ea Tšireletso e Hloekileng bakeng sa Tlhahiso ea Semiconductor

Khahlanong le maemo a ditlhoko tse thata tsa "lefela-sekoli" tlhahisong ya di-semiconductor, diatlana tsa Lijie tsa nitrile tse nang le chlorine e tlase ya lisenthimithara tse 9 di fetohile disebediswa tsa tshireletso tse ke keng tsa qojwa mehatong ya ho sebetsana le di-wafer le ho paka di-chip ka lebaka la masalla a tsona a ionic a tlase haholo le tshebetso e phahameng ya bohlweki. Ka ts'ebetso e ikgethang, dikahare tsa chlorine tsa diatlana di laolwa ka thata ho ≤50ppm—e fetang haholo maemo a indasteri a 100ppm. Sena se thibela ka katleho dikotsi tsa mafome tse bakwang ke ho falla ha di-ion tsa chloride hodima di-wafer, ho fihlela ditlhoko tse thata tsa tlhahiso ya di-semiconductor bakeng sa taolo ya tšilafalo ya microscopic.

Nakong ea lits'ebetso tsa lithography, bohloeki ba liatlana bo ama ka ho toba ho nepahala ha ho roala ka photoresist le liphello tsa ho pepesehela. Sehlahisoa sena se hlahisitsoe likamoreng tsa ho hloekisa tsa Sehlopha sa 100,000 'me se tlosoa lerōle ka laser, se bontša ho ntšoa ha likaroloana tse ka holimo ka tlase ho likaroloana tse 0.2/sekwere sa inch—se fihlela litekanyetso tsa kamore ea ho hloekisa ea Sehlopha sa 3 sa ISO. Sena se thibela ka katleho ho khomarela likaroloana tse nyane holim'a wafer, ka hona se fokotsa liphoso tsa lithography. Moralo oa bolelele ba lisenthimithara tse 9 o fana ka tšireletso e felletseng ho tloha letsohong ho ea letsohong. Ha e kopantsoe le sebopeho sa cuff se tenyetsehang, e netefatsa ho tenyetseha ha ts'ebetso ha e ntse e thibela ka katleho ho tšoloha ha lerōle lesobeng la letsoho, e fihlela litlhoko tse thata tsa tikoloho e hloekileng e matla lits'ebetsong tsa lithography.

Nakong ea lits'ebetso tse kenyelletsang li-reagent tse senyang haholo tse kang ho hlaba le ho kenngoa ha li-ion, liatlana tsena li bontša khanyetso e ikhethang ea lik'hemik'hale. Kamora liteko tsa ho qoelisoa lihora tse 24 ho li-reagent tse tloaelehileng tsa semiconductor joalo ka hydrofluoric acid le phosphoric acid, ha li bontše ho ruruha kapa ho petsoha, ka sekhahla sa phetoho ea boima ba 'mele se ka tlase ho 0.8%. Sena se fana ka tšireletso e tšepahalang ea letsoho bakeng sa basebetsi ha ka nako e ts'oanang se felisa likotsi tsa tšilafalo ea reagent tse bakoang ke tšenyo ea liatlana. Menoana ea letsoho e na le melumo e sa thelleng e ngotsoeng ka laser ea 0.02mm, e eketsa khohlano ka 35% ha e sebetsana le li-wafer tsa lisenthimithara tse 12 le ho fokotsa kotsi ea ho thella ha wafer ka 60%. Sena se fihlella tekano pakeng tsa polokeho e sireletsang le botsitso ba ts'ebetso.

Hona jwale di setifilwe ho latela maemo a SEMI F57, diatlana tsena di sebediswa mefuteng ya tlhahiso ya bongata dibakeng tse ka sehloohong tsa ho theha thepa ho kenyeletswa le SMIC le Hua Hong Semiconductor. Di fokotsa sekgahla sa di-wafer slap tse bakwang ke ho kopana ka letsoho ka 38%, di iketsa kgetho e ntle tlhahisong ya di-semiconductor bakeng sa ho leka-lekanya tshireletso ya kamore ya ho hlwekisa le bokgoni ba tshebetso.